半導体用ガス

半導体用ガス

半導体液晶製造などエレクトロニクス関連事業では、大量に使用される高品質の窒素ガスやモノシラン、アルシン、ホスフィンなど各種特殊材料ガスなど60種類以上もの多様なガスが使われています。

京都帝酸株式会社では、お客様のニーズにお応えするために、これらのガスを厳格な規定の下、最適の方法で安定供給。さらに、分析設備や技術などもメーカーに提供しています。

私たちはそれぞれのお客様の製品生産プロセスにおける当社の役割を、的確かつ迅速に理解し、信頼関係に基づいたパートナーシップを築いていきます。

■半導体材料ガスの種類
モノシラン・アルシン・ホスフィン・ジボラン・ゲルマン・ジクロロシラン・セレン化水素・四塩化ケイ素・ジシラン・三フッ化ホウ素・三塩化ホウ素・塩化水素・アンモニア・三フッ化窒素・四フッ化珪素・フロン-218・臭化水素・塩素・三フッ化塩素・フロン-14・フロン-23・フロン-116・フロン-32・亜酸化窒素・トリクロルシラン・四塩化チタン・弗化水素・三フッ化リン・五フッ化リン・六フッ化タングステン・フロン-22・フロン-123